中国粉体网讯  高纯石英制品因其独特的高纯度、耐高温、低热膨胀性、化学稳定性强等优良性能，被广泛应用于电光源、光纤、光伏、半导体、航空航天、光学等领域。其中，半导体制造是石英制品最主要的下游应用领域。高纯度石英制品作为治具和消耗品，在日益精细化和高纯度化的半导体加工中起着极为重要的作用。

作为半导体制造过程中关键设备中的关键消耗部件，石英制品被广泛应用于150mm到300mm半导体晶圆制造中的外延、扩散、沉积、RTP、湿法清洗等工艺中。据《中国半导体用石英材料市场研究分析报告（2024~2027）》介绍，在半导体集成电路与光伏用硅片制造中，石英坩埚、石英管、石英舟、石英支架、石英法兰、石英环等各种配件是难以替代的关键材料和制品，涉及半导体晶圆制造的大部分流程，对半导体晶圆厂来讲，石英制品参与生产工序长，影响范围广，且石英制品必须要几乎完整参与其产品的生产过程才能确定是否通过验收，石英制品一旦出现质量问题，直接影响其产品的合格率，故石英制品对于下游企业至关重要。

随着国内半导体产业提速发展，用于半导体加工用的石英产品市场被越来越多的人们看好和关注，石英制造的企业也增加了很多，但是高品质的石英制造商数量在国内屈指可数，产能主要分布在北京、沈阳、杭州、上海和湖州地区。目前国内石英厂商总体技术水平不高，多数企业没有形成较强的品牌以及技术优势，企业必须努力提高自身的研发能力和生产技术水平，同时积极跟踪市场变化，调整企业生产经营策略，才能够保证企业实现持续良性发展。

由日本磁性技术控股有限公司于1992年在华设立的企业——FerroTec（中国），其石英制品服务于全球5大国际知名半导体设备制造商，且相关产品据其官网宣传在中国市场的占有率高达40%。这样一家全球石英制品领导者却长期以来不为大多数人所了解。据悉，该公司专业从事半导体硅片、热电半导体致冷材料与器件、半导体石英制品、精密陶瓷制品、半导体真空传动装置及大型腔体、电子束蒸发镀膜机、精密洗净、覆铜陶瓷基板（DCB、AMB、DPC）、半导体装备、单晶炉等产品的研发、制造和销售。

据悉，FerroTec（中国）在精密石英这一领域拥有精密加工中心、激光切割、水切割、LAP/POLISH等各类型先进生产设备，拥有10000级净空化学洗净及100级纯水洗净室。历经20余年的研发生产，Ferrotec可批量生产12"、8"以及8"以下半导体装置用石英制品，并具备下一代18"石英产品的研发能力。

同时，FerroTec（中国）能够根据客户要求选用合适的原材料进行加工生产。主要进口材料规格有：迈图科技生产的124、144、214、224（弱碱性）、244(低铝成分)、贺利氏HSQ330、HSQ300、TSC-3；日本TOSOH OP-1、OP-3；德国QSIL PI、PN等材料。

FerroTec（中国）高精度的石英制品不仅为300nm半导体芯片制程提供可靠保障，也能满足太阳能光伏行业在扩散制程中对低铁、低铜的要求，被广泛应用于半导体扩散刻蚀工艺、光纤预制棒加工、LED照明制造及太阳能光伏等工业领域。

Ferrotec（中国）精密石英产品分类

Ferrotec（中国）为满足客户需求，可生产多种多样的石英产品，依托精密的加工技术、焊接技术、表面处理（洗净）技术三大核心技术优势以及具有全球化视野的专业技术团队支持，为客户量身打造高品质产品。

石英管类

主要包括反应管、内管、外管、炉管、喷射管等产品；主要应用于半导体扩散、氧化、成膜、热处理等硅片表面处理工艺设备，对装配尺寸、洁净度、密封度有较高的要求。

石英舟类

分为5寸、6寸、8寸、12寸各类规格舟，应用于各类表面处理工艺设备、湿法洗净工艺中，舟类产品直接装载硅片，并大多应用于自动上下片工艺中，所以石英舟的尺寸精度和洁净度非常重要。

石英机加工类

包括各种环、圆盘等产品，主要应用于半导体硅片刻蚀、沉积等工艺，对尺寸精度、洁净度、外观状态等方面的要非常高，部分产品不允许返修，必须一次成型，所以对加工能力要求高。

石英治具类

主要有装载盘、底座、封盖等产品；应用于各种半导体处理工艺的辅助设备中，其精度视应用的工艺而定。

石英洗净类

包括石英槽、石英支架等产品，主要应用于半导体湿法洗净工艺，精度相对不高，但对外观、洁净度有较高的要求。

资料来源：

[1]FerroTec（中国）官网

[2]中国半导体用石英材料市场研究分析报告（2024~2027）

（中国粉体网编辑整理/平安）

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