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年产10万只!光伏及半导体级石英坩埚项目落户江苏
7078 2024-02-04

中国粉体网讯  近日,徐州市沛县生态环境局受理并拟批准江苏美瑞克新材料科技有限公司年产10万只光伏及半导体级大直径石英坩埚制造项目环境影响评价文件。


据悉,江苏美瑞克新材料科技有限公司位于江苏省徐州市沛县经济开发区,拟投资2.3亿建设年产10万只光伏及半导体级大直径石英坩埚制造项目。项目生产工艺流程为:投料→真空熔制→冷却检验→水磨→浮砂清洗→切割上口→切割上口清洗→自动检验→初洗→酸洗→高压清洗→烘干冷却→目检→包装入库。


工艺流程



生产工艺流程


投料:高纯石英砂经过料斗投加进入模具中,将模具小车开入熔制炉内。


真空熔制:将装好石英砂的模具导入熔制炉内,4台熔制炉分别放置在隔间内,熔制机关闭进料口(此时熔制机全封闭),模具开始旋转(旋转离心力由真空机组内转子不停旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间内,再经排气口排出),由离心力和真空负压(0~-0.06Mpa)将石英砂进行旋转贴合在模具壁上,然后进行加热熔化(主要是辐射热),加热温度为1700℃(电加热使石墨电极燃烧产生电弧,产生热量),为防止熔制炉温度过高,通过冷却水进行降温,冷却水循环使用不外排。


冷却检验:经过10~20分钟的熔制阶段后,将电炉关闭,为防止在过高温度时开炉产生氮氧化物,待炉内温度降至500℃左右时,将模具退出熔制炉。毛坯出炉冷却后,进行检验,经检验合格进入下一道工序。


水磨:将坩埚毛坯用水磨机进行打磨,用来去除表面的附着物。


浮砂清洗:将打磨后坩埚,用清水冲洗,用来去除表面的浮砂。


切割上口:在全自动切边倒棱机上将坩埚、多余边角进行切割,切割工序在全封闭设备中进行,采用湿法作业(仅使用水),切割过程中设备自动由水泵抽吸循环水池中水在切割处出水。


切割上口清洗:将切割后坩埚,用清水冲洗,用来去除表面的浮砂。


自动检验:对切割过后的半成品进行检验,合格后进入下一道工序。


初洗、酸洗:清洗段需进行纯水洗、酸洗及高压清洗。坩埚进入清洗线后先进行纯水洗再进行酸洗喷淋,建设单位使用浓度为8%的氢氟酸溶液进行酸洗喷淋。酸洗后酸液滴落在清洗线槽内回流到清洗线底部封闭酸箱,酸洗时会产生酸雾存在于清洗线腔内,酸洗后由清洗线顶部喷头喷出纯水对坩埚进行高压水洗,以去除表面残余氟离子,同时喷出的纯水将对清洗腔内弥漫的部分酸雾吸收。经表面检测合格后进入下一道工序。


烘干:将成品放入烘干炉内烘干水分,烘干采用电加热。


冷却:产品自然冷却。


包装入库:产品干燥外观检测后包装入库。


来源:徐州市沛县生态环境局


(中国粉体网编辑整理/初末)

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