中国粉体网讯  近日，驻马店市生态环境局驿城分局对河南协鑫硅基新材料公司3万吨/年高纯度石英硅料项目（电子级）环评受理情况进行了公示。项目总投资70000万元，建设3 万吨/年高纯石英硅料（电子级），其中为检验产品质量，项目设置有石英坩埚试验线。

项目产品方案

项目厂房内设置原料暂存区、矿石预处理区及石英坩埚试验线，成品暂存库、检验室、电磁磁选、高温氯化区、烤砂区、纯水制备、储罐区、酸洗区、浮选区、焙烧水淬及制砂、筛分区等，其中，高纯石英硅料（电子级）生产工艺流程为矿石上料、矿石破碎、矿石筛分等预处理工序、焙烧水淬、分选、制砂、除杂、一次浮选、酸洗、二次浮选、烤砂、电磁磁选和氯化包装等。

项目生产工艺流程

项目石英坩埚试验线采用电弧法生产工艺。电弧法制石英坩埚主要原理为在真空环境内电极起电弧产生高温对石英进行熔制而得到纯净的石英坩埚制品。本项目设置的石英坩埚试验线目的为对生产的高纯石英砂产品质量进行验证，通过制作坩埚观测高纯石英砂透明层、黑点、气泡、絮状物等质量情况。

半导体行业是高纯石英砂应用较为广泛的领域，且对高纯石英砂的品质要求极高。高纯石英制品是半导体制造过程中重要的耗材。在半导体行业中，以高纯石英砂为原料的石英坩埚是用于直拉法生产单晶硅的辅助性耗材，高纯石英砂是石英坩埚核心原材料，其纯度显著影响拉晶效果。另外，半导体制造过程中所用的石英环、石英舟、石英管、石英棒、石英锭、石英钟罩等石英制品，同样需要以高纯石英砂为原材料进行制备。

其中，行业标准SJ/T3328-2016电子产品用高纯石英砂标准中规定了电子产品的技术条件、分析方法通则、灼烧矢量的测定、二氧化硅的测定、铁的测定、铜的测定、铬的测定、铝的测定以及铅的测定。标准适用于电子产品用高纯石英砂，可用于制造半导体石英器件的管、棒、块、板、片以及坩埚等器件，标准规定粒径应在70μm～350μm，二氧化硅含量和杂质元素含量应该符合下列图表（表1，表2）中要求。

据悉，河南协鑫硅基新材料有限公司成立于2024年1月18日，位于河南驻马店市驿城区，是协鑫集团旗下子公司，协鑫集团是一家在碳达峰、碳中和目标引领下，以风光储氢氨醇等多种形式的新能源、清洁能源与可再生能源为主体的绿色低碳科技企业，是成功攻克电子级硅料卡脖子技术，系统掌握集成电路专用高纯电子级多晶硅制备技术，且规模大、市占率高的电子级多晶硅生产企业。在12英寸大硅片、大晶圆领域，协鑫具备进口替代技术能级，是少数的“中国芯”原材料制造商之一。

参考来源：

驻马店市驿城区人民政府、协鑫集团官网

行业标准SJ/T3328-2016电子产品用高纯石英砂

蒋雪松.高纯石英砂制备及浮选机理研究

（中国粉体网编辑整理/初末）

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