中国粉体网讯  近日，成都中科卓尔智能科技集团有限公司（简称“中科卓尔”）完成数亿元B+轮融资。本轮资金将重点投向高端石英空白掩模版的核心工艺研发与量产产线建设。

为什么是空白掩模版？

空白掩模版是光刻工艺的“母版”，其基板的纯度、平整度及缺陷控制水平，直接决定光刻图形转移的质量与芯片良率。长期以来，高端石英空白掩模版及核心制造装备被少数国外厂商垄断，是我国光刻产业链上游最突出的“卡脖子”环节之一。

当前，全球半导体产业格局深度重构，国际上对半导体设备、材料与相关技术的出口管制持续加码，高端掩模基板及其制造装备的进口通道不断收窄。国内下游光刻掩模版客户对稳定、安全、自主可控供应链的需求，从未如此迫切；在国家科技自立自强战略与国产替代进程全面提速的大背景下，谁能率先实现高端石英空白掩模版的自主量产，谁就能为我国半导体产业链补上这块关键拼图。

中科卓尔：走“最难但最稳”的自主装备路线

中科卓尔成立于2018年，聚焦半导体与显示面板上游核心材料——空白掩模版（Blank Mask）的国产化，是国内极少数同时构建“核心材料+关键工艺+智能制造”全产业链闭环的国家级高新技术企业、国家专精特新“小巨人”。

公司攻克了超精密抛光与真空镀膜等关键技术，自主研制的磁控溅射镀膜装备获首台套产品认定；建有企业技术中心与中试平台，并与电子科技大学共建联合实验室。

与行业普遍采用“进口设备+工艺引进”的路径不同，中科卓尔从创立起就坚持核心工艺装备自主研发：超精密抛光、真空镀膜等关键设备由企业自主设计，或与国内优质装备企业联合研制，工艺Know-how完全自主沉淀。

这意味着公司不受“引进一代、落后一代”的路径锁定，也不会在量产爬坡期遭遇装备断供。迭代速度、成本效率与工艺协同能力，正是其率先推进高端量产的底层底气，也是产业资本坚定下注的核心逻辑。

本轮融资后，公司将进一步打通“材料检测—精密抛光—真空镀膜—智能制造”全链条，加速从技术验证走向规模化量产。

图源：中科卓尔

空白掩模版基板有多难？

空白掩模版基板（又称光掩膜基板）主要采用石英玻璃与钠钙玻璃。钠钙玻璃多用于中低端场景；石英玻璃因纯度高、化学稳定性强、透光性优异，是IC高端光刻的首选。

光刻级石英对性能极为苛刻：仅光学均匀性就需控制在1.0×10^-6（cm/cm）以内，对石英锭熔制、加工全链路都提出极高标准。

石英锭制备分为两大类：熔炼石英玻璃，以电熔、气炼工艺为主；合成石英玻璃，包括化学气相沉积（CVD）、等离子化学气相沉积（PCVD）、间接合成法等。

其中，CVD工艺最为典型：以SiCl₄为原料，在氢氧焰中高温水解生成SiO₂微粒，经沉积熔化形成高纯石英锭；再经切割、热加工成型、冷加工磨抛，最终制成光掩模石英玻璃基板。工艺链条长、良率窗口窄，是真正“纳米级的基本功”。

结语

空白掩模版虽不起眼，却是芯片光刻的“底片”。中科卓尔以装备自主切入最难的基板环节，正在把国产替代从概念推进到产线。此次B+轮融资，不只是资本加持，更是高端半导体材料“从实验室走向规模供货”的关键一跃。

参考来源：中科卓尔；中国粉体网

(中国粉体网编辑整理/九思)

注:图片非商业用途，存在侵权告知删除!