中国粉体网讯  1月30日，安徽微芯长江半导体材料有限公司嘉定中试基地启动仪式在中科院上海硅酸盐研究所举行。

图片来源：上海申和热磁电子有限公司

据悉，该基地2021年计划目标为生产4英寸2150片；6英寸240片，验证片150片，良率达到行业内中上水平；完成公司级研发课题6项；申请专利20项。

上海申和热磁电子有限公司/安徽微芯长江半导体材料有限公司董事长贺贤汉表示，将加速中试基地研发及工艺改善，为铜陵量产工厂顺利导产奠定基础。

去年11月，安徽微芯长江半导体材料有限公司碳化硅项目开工，项目投资13.5亿元，以4&6英寸工艺兼容的自动化产线为实施要点，建设工期4年，达成后预计年产4英寸碳化硅晶圆片3万片、6英寸12万片。该项目计划2021年3季度完成厂房建设和设备安装调试，2021年12月底完成中试并开始试销，达成后预计年产4英寸碳化硅晶圆片3万片、6英寸12万片。

上海申和热磁电子有限公司是日本Ferrotec集团在上海的子公司。Ferrotec（中国）始创于1992年，拥有上海、杭州、银川、铜陵等多地布局。Ferrotec（中国）的产品重点集中在半导体产业的各相关领域，可向半导体产业提供半导体材料、半导体设备、半导体消耗品以及半导体零部件洗净服务等，特别是半导体硅抛光片、气相沉积碳化硅、硅部件、高纯石英制品、高纯陶瓷制品和半导体功率基板以及真空腔体等产品。

（中国粉体网编辑整理/山川）

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