随着芯片特征尺寸的减小和卤素类等离子体能量的逐渐提高,刻蚀工艺腔和腔体内部件的耐等离子体刻蚀性能变得越来越重要,而陶瓷材料具有较好的耐腐蚀性能。
2023年05月05日 更新晶盛机电(300316.SZ)公布2023年一季度报告,报告期营业收入35.996亿元,同比增长84.37%;归属于上市公司股东的净利润8.87亿元,同比增长100.43%;归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润8.74亿元,同比增长102.41%;基本每股收益0.68元。
2023年04月28日 更新氮化镓射频器件因其优异性能,在高新技术产业中发挥举足轻重的作用,已成为全球半导体领域的研究焦点和世界各国竞相抢占的战略制高点。
2023年04月22日 更新半导体设备是由成千上万个零部件组成,零部件的性能、质量和精度直接决定着设备的可靠性和稳定性,也是我国在半导体制造能力上向高端化跃升的关键基础要素。
2023年04月21日 更新