随着芯片特征尺寸的减小和卤素类等离子体能量的逐渐提高,刻蚀工艺腔和腔体内部件的耐等离子体刻蚀性能变得越来越重要,而陶瓷材料具有较好的耐腐蚀性能。
2023年05月05日 更新
晶盛机电(300316.SZ)公布2023年一季度报告,报告期营业收入35.996亿元,同比增长84.37%;归属于上市公司股东的净利润8.87亿元,同比增长100.43%;归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润8.74亿元,同比增长102.41%;基本每股收益0.68元。
2023年04月28日 更新